卤素加热器

 作为高效、清洁的热源,应用于液晶面板的干燥过程和半导体的成膜过程。

 
特征
长寿命型
一般发热灯泡在点亮后随着温度升高,钨从灯丝中蒸发出来,附着在灯泡内壁上,造成发黑现象。卤素灯通过在惰性气体(氮气、氩气、氪气等)中添加0.1~0.6%的卤素化合物气体来产生卤素循环,从而防止这种黑化现象。
 
小型、紧凑、干净
・灯泡采用耐热性高的石英管,成为紧凑且高效的灯泡。
・由于使用石英管,可以防止金属污染,因此可以保持被加热物的清洁。
 
高效率
・使用钨作为加热元件,因此从点亮到最大输出只需几秒钟。
・卤素灯被广泛用于加热,因为输入能量的约 80% 转化为红外线(热射线)。
・由于可以根据加热对象来设定温度,因此与其他加热器相比,热效率高,加热时间短。